NSC36/Al BS
轻敲模式/非接触模式用探针，每个基片有三个长方形悬臂，共振频率分别为105、155和75kHz，弹性系数分别为0.95、1.75和0.6N/m，针尖曲率半径<10nm，背面镀铝反射层。
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