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ST-II型气垫精密光学隔振平台

ST-II型气垫精密光学隔振平台

数量

ST-II型气垫精密光学隔振平台


ST-II型系列隔振平台采用独立膜片气囊,具有良好的隔振性能。由于采用气囊结构,有效减少了泄漏的发生,一次充气可以使用6~12个月。广泛应用在光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域。


产品数据表


型号Model

台板尺寸(mm)

平台高度(mm)

最大载荷(kg)

孔径

孔距(mm)

支撑腿数量(只)



长度

宽度

台板厚度


ST-II-0906

900

600

50

800

200

M6

25

4


ST-II-0906

900

600

100

800

400

M6

25

4


ST-II-1208

1200

800

100

800

800

M6

25

4


ST-II-1510

1500

1000

100

800

800

M6

25

4


ST-II-1812

1800

1200

200

800

800

M6

25

4


ST-II-2012

2000

1200

200

800

800

M6

25

4


ST-II-2015

2000

1500

200

800

800

M6

25

4


ST-II-2412

2400

1200

200

800

800

M6

25

4


ST-II-2415

2400

1500

300

850

800

M6

25

4


ST-II-3012

3000

1200

300

850

800

M6

25

6


ST-II-3015

3000

1500

300

850

800

M6

25

6


ST-II-3515

3500

1500

300

850

800

M6

25

6


ST-II-4015

4000

1500

300

850

800

M6

25

8


ST-II-5015

5000

1500

300

850

800

M6

25

8


ST-II-6015

6000

1500

400

850

3000

M6

25

8



主要性能指标:                   

平台尺寸2400*1500*800mm

1)平台台面材质:高导磁不锈钢SUS430;加工制造

2)台体总厚度:    200mm           

3)平台离地高度:  800mm

4) 台面平整度:    0.05mm/平方米     

5)台体底板:      大于9mm

6)台面粗糙度:     0.8微米;        

7)孔      距:     25*25mm;   

8)孔     径:     M6,              

9)振     幅:     <1.2微米

10)台体内部结构:材质采用5mm厚优质碳钢压制成蜂窝钢结构,具有高抗强度

                  最大(变形量)动扰度系数:0.771*10-3-3

11)支撑方式  (每个平台配4点支撑-气浮式隔振支撑架一套,)

               4点200*200mm方形钢管上端内采用内置二层膜片气囊,小孔阻尼,气压稳定平衡,

12)最大相对位移:        0.02μm;

13)固有频率:垂直1.5-2Hz、水平1.8-2Hz;

14)设计最大载负能力:2200kg


咨询可联系:
袁文军,邮箱:
yuanwenjun@sunano.com.cn,手机:13761090949

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